1）完全消除了加热过程中工件表面的氧化、脱碳，可获得无变质层的清洁表面。这对于那些在刃磨时仅磨一面的刀具（如麻花钻磨削后使沟槽表面的脱碳层直接暴露于刃口）切削性能的改善关系极大。

2）对环境无污染，不需进行三废处理。

3）炉温测定、监控精度明显提高。热电偶的指示值与炉温温度达到±1.5°c。但炉内大批工件不同部位的温差较大，若采用稀薄气体强制循环，仍可控制在±5°c温差范围内。

4）机电一体化程度高。在温度测控精度提高的基础上，工件移动、气压调节、功率调节等均可预先编程设定，按步骤实施淬火和回火。

5）能耗显著低于盐浴炉。现代先进的真空炉加热室采用优质隔热材料制成的隔热墙和屏障，可将电热能量高度集中于加热室内，节能效果显著。

真空炉即真空热处理炉，根据应用设备来区分，大概包含以下种类：

真空淬火炉、真空钎焊炉 、真空退火炉、真空加磁炉、真空回火炉、真空烧结炉、真空扩散焊炉、真空渗碳炉等。

真空炉按加热方式分为真空电阻炉、真空、真空电弧炉、真空自耗电弧炉、电子束炉（又称电子轰击炉）和等离子炉等。